این سامانه مجموعه ای از یک پمپ توربو مولکولی، پمپ مکانیکی روتاری دومرحله ای روغنی، اتصالات، ولو، منبع تغذیه و سیستم کنترل می باشد.
پمپ ها ساخت کمپانی معظم KYKY میباشند.
ویژگی ها :
نصب و کاربری آسان، عملکرد قابل اعتماد که میتواند بطور گسترده برای آنالیزهای سطحی، فناوری شتاب دهنده ها، تجهیزات نیمه رسانا، فناوری پلاسما و ساخت سیستمهای خلأ استفاده شود.
مشخصات فنی
|
110 |
Model no. |
||
|
DN100CF |
DN100KF |
Inlet flange |
|
|
＞110 |
Pump speed l/s (in air) |
||
|
＞108 5×102 |
Compression ratio N2 |
||
|
6×10-7 |
6×10-6 |
Limited vacuum (Pa) |
|
|
KF25 |
Outlet flange |
||
|
220±20/50 |
Input voltage frequency (V/Hz) |
||
|
0～40 |
Environment temperature ( ̊C ) |
||
|
RVP-4 |
Backing pump model |
||
|
＜3 |
Start time (min) |
||
|
42,300 |
Rotating speed (rpm) |
||
|
Water cooling or forced air cooling |
Cooling type |
||
|
65kg |
Weight |
||
|
500(L)×510(W)×685(H) mm |
Dimension |
||