سیستم PE-CVD (از نوع کوره ی تیوبی) شامل یک مولد رادیوفرکانسی (RF) با توان 500 وات، کوره ی تیوبی، سیستم 4 کاناله ی MFC با مکانیزم میکس گاز و سامانه ی خلأ خیلی بالا(توربو) می باشد.
سیستم PE-CVD کوره ای، دستگاهی بسیار ایده آل و مقرون به صرفه جهت نشاندن لایه های نازک یا رشد نانو سیمها از حالت فیزیکی گازی (بخار) به حالت جامد می باشد.
قابلیت ها: امکان انجام رسوب شیمیایی بخار (CVD) به روش حرارتی، پلاسمایی (PECVD) و همچنین ترکیبی از حرارت و پلاسما
کاربردها: جهت تولید پوشش های نانو، نانو لوله های کربنی، پوشش های سیلیکونی، SiC، گرافن و ...