شرکت مهندسی نانو آداک

منابع مگنترون کندوپاش، شامل کاتد و شیلد فضایی بوده و برای لایه نشانی با روش اسپاترینگ DC و RF  طراحی می شوند. دیگر مشخصات این منابع عبارتست از:

• خوردگی بالای تارگت
• نرخ بالای لایه نشانی 
• نصب آسان روی سوراخ با ابعاد استاندارد
• قابلیت خنک شدن تارگت با آب
• در اندازه های تارگت 2 ، 3 و 4 اینچی ( در صورت سفارش طراحی خاص برای تارگت های بزرگتر)
• دارای اتصالات آسان آب و ورودی تغذیه برق

در صورت نیاز به منابع لایه نشانی ساخت کمپانی های معتبر خارجی، می توانید جزئیات نیاز خود را با ما در میان بگذارید.

• مولد پلاسمای اسپاترینگ DC

• مولد فرکانس رادیویی RF

.

.

..

..

سازنده : BasaFan

ویژگی ها و قابلیت ها :

• بازده 90 درصد

• خنک کاری با هوا

• کاربری انعطاف پذیر

• دقت 1% 

امروزه عملیات اسپاترینگ پیشرفته نیازمند سرعت، کنترل، دقت ، اطمینان و قابلیت مدیریت آرک می باشد. یک منبع تغذیه مولد پلاسمای DC به منظور لایه نشانی به روش فیزیکی (pvd) است. به کمک مد های رگولاسیون مختلف، تنظیمات قابل اعمال توسط کاربر و تنظیمات کنترلی، عملیاتی مطمئن انجام خواهد شد. محدوده وسیع از امپدانس توسط این تغذیه پشتیبانی می شود. مدل های توان بالای این تغذیه کاربرد های صنعتی دارد.

 کاربردها:

• تولید نیمه هادی

• لایه نشانی پلاسمایی فیزیکی

• حافظه اطلاعات

• سلول های خورشیدی

مشخصات