مشخصات فنی :
- خلأ نهایی : 6-^10 میلی بار
- ابعاد محفظه : قطر 40 سانتیمتر، ارتفاع 35 سانتی متر - دارای دو پنجره ی بازدید قطر 10 سانتیمتر(روی بدنه) و یک پنجره ی بازدید قطر 25 سانتیمتری(درب بالا)
- جنس محفظه: استیل 304
- سیستم پمپینگ : روتاری دو مرحله ای و توربومولکولار
- گیج خلأ: از نوع ترکیبی پیرانی- خازنی
- فیدتروی سیگنال 10 پین ولتاژ و 2 پین High Voltage
- فیدتروی چرخنده مکانیکی
- اتصالات از نوع اورینگ،کلمپ ، رابط استیل، دهانه ی بسته، ولو تخلیه و ...
- دارای 4 پورت DN25 و 4 پورت DN40 و یک پورت DN63
